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<title>电子束光刻机"羲之"概念分析</title>
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<title>深度研究报告：电子束光刻机“羲之”</title>
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
||||
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|
||||
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
||||
|
||||
/* Responsive Bento Grid Layouts */
|
||||
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|
||||
.item-span-8 { grid-column: span 12; }
|
||||
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|
||||
.item-span-4 { grid-column: span 12; }
|
||||
|
||||
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|
||||
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|
||||
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|
||||
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|
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|
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|
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|
||||
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|
||||
.item-span-6 { grid-column: span 6; }
|
||||
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|
||||
}
|
||||
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||||
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||||
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|
||||
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||||
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|
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|
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|
||||
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|
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|
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|
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|
||||
}
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||||
.highlight {
|
||||
background-color: rgba(13, 110, 253, 0.1);
|
||||
padding: 2px 5px;
|
||||
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|
||||
font-weight: 500;
|
||||
}
|
||||
|
||||
.risk-item {
|
||||
border-left: 3px solid #dc3545;
|
||||
padding-left: 15px;
|
||||
margin-bottom: 15px;
|
||||
}
|
||||
|
||||
.opportunity-item {
|
||||
border-left: 3px solid #198754;
|
||||
padding-left: 15px;
|
||||
margin-bottom: 15px;
|
||||
}
|
||||
|
||||
.stock-table td {
|
||||
vertical-align: middle;
|
||||
}
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||||
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||||
@media (max-width: 768px) {
|
||||
.hero-section {
|
||||
padding: 2rem 0;
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||||
}
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||||
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||||
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|
||||
margin-bottom: 1rem;
|
||||
}
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||||
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||||
.table {
|
||||
font-size: 0.85rem;
|
||||
}
|
||||
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||||
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|
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|
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}
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|
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z-index: -1;
|
||||
}
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||||
</style>
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||||
</head>
|
||||
<body>
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||||
<!-- 顶部标题区域 -->
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||||
<div class="hero-section">
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||||
<div class="container">
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||||
<div class="row align-items-center">
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||||
<div class="col-md-8">
|
||||
<h1 class="display-5 fw-bold">电子束光刻机"羲之"</h1>
|
||||
<p class="lead">中国自主研发的首台国产商业电子束光刻设备</p>
|
||||
<p class="mb-0">量子芯片研发的"中国刻刀"</p>
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||||
<body class="min-h-screen p-4 sm:p-8 lg:p-12">
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||||
|
||||
<!-- Background Glows -->
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||||
<div class="glow-effect" style="width: 500px; height: 500px; background: #6d28d9; top: 5%; left: 10%;"></div>
|
||||
<div class="glow-effect" style="width: 400px; height: 400px; background: #0e7490; bottom: 5%; right: 15%;"></div>
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||||
|
||||
<div class="container mx-auto max-w-screen-2xl">
|
||||
<!-- Header -->
|
||||
<header class="text-center mb-12">
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||||
<h1 class="fui-title text-4xl md:text-6xl font-bold tracking-widest text-sky-300">深度研究报告</h1>
|
||||
<h2 class="fui-title text-2xl md:text-4xl mt-2 text-fuchsia-300">概念：电子束光刻机 “羲之”</h2>
|
||||
<p class="mt-4 text-xs text-slate-400">北京价值前沿科技有限公司 AI投研agent：“价小前投研” 进行投研呈现，本报告为AI合成数据，投资需谨慎。</p>
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||||
</header>
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||||
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||||
<!-- Main Content -->
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<main class="space-y-8">
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||||
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||||
<!-- Bento Grid Start -->
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||||
<section class="bento-grid">
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||||
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||||
<!-- Concept Event -->
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||||
<div class="glass-card p-6 md:p-8 item-span-12">
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||||
<h3 class="fui-title text-2xl font-bold mb-4 text-sky-300">概念事件：国产“纳米神笔”问世</h3>
|
||||
<p class="text-slate-300 leading-relaxed">
|
||||
“羲之”光刻机是国内<strong class="highlight-text">首台商业化电子束光刻机</strong>，由浙江大学成果转化基地孵化、浙大余杭量子研究院相关团队自主研发。该事件的核心信息于 <strong class="highlight-text">2025年8月13-14日</strong> 左右集中释放，迅速引爆市场。新闻稿将其誉为“能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’”，并公布了核心技术参数：通过<strong class="highlight-text">100kV</strong>高能电子束在硅基上直写电路，无需掩膜版，精度达到<strong class="highlight-text">0.6nm</strong>，线宽<strong class="highlight-text">8nm</strong>，性能比肩国际主流设备。“羲之”的诞生被赋予了极高的战略意义，官方定调为“标志着量子芯片研发从此有了‘中国刻刀’”，直指其在打破海外技术垄断中的关键作用。
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||||
</p>
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||||
</div>
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||||
<div class="col-md-4 text-md-end mt-3 mt-md-0">
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||||
<div class="d-flex align-items-center justify-content-md-end">
|
||||
<i class="bi bi-cpu display-4 me-3"></i>
|
||||
|
||||
<!-- Core Viewpoint -->
|
||||
<div class="glass-card p-6 md:p-8 item-span-8">
|
||||
<h3 class="fui-title text-2xl font-bold mb-4 text-sky-300">核心观点摘要</h3>
|
||||
<p class="text-slate-300 leading-relaxed">
|
||||
“羲之”电子束光刻机的问世，是中国在特定高端科研与前沿制造设备领域的一次<strong class="highlight-text">“精点突破”</strong>，其核心驱动力源于解决<strong class="highlight-text">量子芯片、先进光刻胶</strong>等研发环节“卡脖子”问题的迫切需求。当前该概念处于由技术突破引爆的<strong class="accent-text">主题炒作阶段</strong>，市场情绪高涨，但其商业化路径与对产业链上市公司的实际业绩贡献尚不明朗，存在显著的<strong class="accent-text">“宏大叙事”与“商业现实”之间的预期差</strong>。
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||||
</p>
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||||
</div>
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||||
|
||||
<!-- Core Information -->
|
||||
<div class="glass-card p-6 md:p-8 item-span-4">
|
||||
<h3 class="fui-title text-2xl font-bold mb-4 text-sky-300">核心信息速览</h3>
|
||||
<ul class="space-y-2 text-sm">
|
||||
<li><strong class="text-slate-200 w-24 inline-block">名称:</strong> <span class="highlight-text">羲之</span></li>
|
||||
<li><strong class="text-slate-200 w-24 inline-block">定义:</strong> 全国首台国产商业电子束光刻机</li>
|
||||
<li><strong class="text-slate-200 w-24 inline-block">当前状态:</strong> 已在客户现场进入应用测试</li>
|
||||
<li><strong class="text-slate-200 w-24 inline-block">研发单位:</strong> 浙大余杭量子研究院相关团队</li>
|
||||
<li><strong class="text-slate-200 w-24 inline-block">技术背景:</strong> 依托浙江大学省重点实验室</li>
|
||||
<li><strong class="text-slate-200 w-24 inline-block">地点:</strong> 杭州城西科创大走廊</li>
|
||||
</ul>
|
||||
</div>
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||||
|
||||
<!-- Core Logic & Market Perception -->
|
||||
<div class="glass-card p-6 md:p-8 item-span-12">
|
||||
<h3 class="fui-title text-2xl font-bold mb-4 text-sky-300">核心逻辑与市场认知</h3>
|
||||
<div class="grid grid-cols-1 lg:grid-cols-2 gap-8">
|
||||
<div>
|
||||
<div class="h5 mb-0">概念日期</div>
|
||||
<div class="h4 mb-0">2025-08-14</div>
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||||
<h4 class="font-semibold text-lg mb-2 text-fuchsia-300">核心驱动力：科研“工具”的国产替代</h4>
|
||||
<ul class="list-disc list-inside space-y-2 text-slate-300">
|
||||
<li><strong>解决研发端“卡脖子”问题:</strong> 专攻“量子芯片、新型半导体研发的核心环节”，为彤程新材、晶瑞电材等国内光刻胶企业提供低成本、高效率的曝光验证平台。</li>
|
||||
<li><strong>技术路径的特殊性:</strong> 电子束光刻（EBL）是一种无掩膜直写技术，与主流有掩膜光刻机路径不同，定位于高精度、小批量、高灵活性的科研和特种器件制造。</li>
|
||||
<li><strong>政策与战略导向:</strong> “打破海外技术垄断”是反复强调的重点，符合“自主可控”的宏观政策背景。</li>
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||||
</ul>
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||||
</div>
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||||
</div>
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||||
</div>
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||||
</div>
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||||
</div>
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||||
</div>
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||||
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||||
<div class="container">
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||||
<!-- 概念事件时间轴 -->
|
||||
<div class="card">
|
||||
<div class="card-header">
|
||||
<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-clock-history me-2"></i>概念事件时间轴</h3>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="card-body">
|
||||
<div class="timeline">
|
||||
<div class="timeline-item">
|
||||
<div class="timeline-date">2023年3月19日</div>
|
||||
<div>路演中专家提到华为（推测可能指"羲之"）光刻机进展，已搭建demo机，重点攻克算法部分，特别是对准、校准等技术。</div>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="timeline-item">
|
||||
<div class="timeline-date">2025年5月22日</div>
|
||||
<div>波长光电与浙江大学签署协议，共建"联合实验室"聚焦高端光学器件研发，公司公告在研项目包括电子束光刻(EBL)等核心工艺。</div>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="timeline-item">
|
||||
<div class="timeline-date">2025年8月14日</div>
|
||||
<div>全国首台国产商业电子束光刻机"羲之"在杭州进入应用测试阶段。该设备由浙大余杭量子研究院自主研发，是新一代100kV电子束光刻机，精度比肩国际主流设备，被称为量子芯片研发的"中国刻刀"。</div>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="timeline-item">
|
||||
<div class="timeline-date">2025年8月15日</div>
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||||
<div>光刻机概念股震荡拉升，东材科技、凯美特气、冠石科技等多股涨停。市场将"羲之"电子束光刻机视为热点概念。</div>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="timeline-item">
|
||||
<div class="timeline-date">2025年8月15日</div>
|
||||
<div>冠石科技发布公告澄清，公司只涉及光掩膜版制造业务，不涉及电子束光刻机设备的制造业务，且相关业务收入占比不足2%。</div>
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</div>
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</div>
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</div>
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||||
</div>
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||||
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||||
<!-- 核心观点摘要 -->
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<div class="card">
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||||
<div class="card-header">
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||||
<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-lightbulb me-2"></i>核心观点摘要</h3>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="card-body">
|
||||
<p>电子束光刻机"羲之"代表了中国在高端光刻设备领域的重要技术突破，目前正处于从研发测试向商业化应用过渡的关键阶段。其核心驱动力是国产替代和技术自主可控的战略需求，未来在量子芯片、光子芯片等前沿领域具有广阔的应用前景，但商业化进程和技术成熟度仍需进一步验证，当前市场反应存在一定程度的过度炒作。</p>
|
||||
<div class="row mt-3">
|
||||
<div class="col-md-4">
|
||||
<div class="text-center p-3 bg-light rounded">
|
||||
<i class="bi bi-gear-fill text-primary fs-1"></i>
|
||||
<h5 class="mt-2">技术突破</h5>
|
||||
<p>精度比肩国际主流设备</p>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="col-md-4">
|
||||
<div class="text-center p-3 bg-light rounded">
|
||||
<i class="bi bi-shield-fill-check text-success fs-1"></i>
|
||||
<h5 class="mt-2">国产替代</h5>
|
||||
<p>解决"卡脖子"关键环节</p>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="col-md-4">
|
||||
<div class="text-center p-3 bg-light rounded">
|
||||
<i class="bi bi-graph-up-arrow text-warning fs-1"></i>
|
||||
<h5 class="mt-2">市场前景</h5>
|
||||
<p>量子芯片等领域应用广阔</p>
|
||||
</div>
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</div>
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||||
</div>
|
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</div>
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</div>
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<!-- 概念的核心逻辑与市场认知分析 -->
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||||
<div class="card">
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<div class="card-header">
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||||
<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-diagram-3 me-2"></i>概念的核心逻辑与市场认知分析</h3>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="card-body">
|
||||
<h4 class="section-title">核心驱动力</h4>
|
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<div class="row">
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||||
<div class="col-md-4 mb-3">
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||||
<div class="card h-100">
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<div class="card-body">
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||||
<h5 class="card-title"><i class="bi bi-cpu text-primary me-2"></i>技术突破</h5>
|
||||
<p class="card-text">电子束光刻机"羲之"的问世标志着中国在高端光刻设备领域取得了重要突破。根据新闻，"羲之"是新一代100kV电子束光刻机，其精度<span class="highlight">比肩国际主流设备</span>，被称为量子芯片研发的"中国刻刀"。</p>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
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</div>
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||||
<div class="col-md-4 mb-3">
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<div class="card h-100">
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<div class="card-body">
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<h5 class="card-title"><i class="bi bi-shield-check text-success me-2"></i>国产替代需求</h5>
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||||
<p class="card-text">在全球半导体产业链重构和技术封锁的背景下，国产光刻设备的突破具有重要的战略意义。路演中多次提到光刻机是半导体制造的核心设备，也是<span class="highlight">"卡脖子"的关键环节</span>。</p>
|
||||
</div>
|
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</div>
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||||
</div>
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<div class="col-md-4 mb-3">
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<div class="card h-100">
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<div class="card-body">
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||||
<h5 class="card-title"><i class="bi bi-lightbulb text-warning me-2"></i>前沿应用需求</h5>
|
||||
<p class="card-text">电子束光刻技术特别适用于量子芯片、光子芯片等前沿领域的研发和生产。随着这些新兴领域的发展，对高精度光刻设备的需求将持续增长。</p>
|
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</div>
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<div>
|
||||
<h4 class="font-semibold text-lg mb-2 text-fuchsia-300">市场热度与情绪：高度乐观但认知模糊</h4>
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<p class="text-slate-300 mb-2">舆情热度高企，股市反应迅速正面（“东材科技等多股涨停”）。市场对“光刻机”关键词高度敏感，任何国产化风吹草动都能点燃市场情绪。</p>
|
||||
<ul class="list-disc list-inside space-y-2 text-slate-300">
|
||||
<li><strong>认知模糊:</strong> 市场可能将“羲之”（EBL，研发工具）与主流DUV/EUV光刻机（量产工具）混为一谈，过高估计其短期影响。</li>
|
||||
<li><strong>“沾边就炒”:</strong> 对产业链的挖掘呈现此特征，关联个股的原因多为“产品可用于电子束光刻机”，缺乏直接订单证实。</li>
|
||||
</ul>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
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||||
</div>
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||||
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<h4 class="section-title mt-4">市场热度与情绪</h4>
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||||
<div class="row">
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<div class="col-md-6">
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||||
<h5><i class="bi bi-thermometer-high text-danger me-2"></i>乐观因素</h5>
|
||||
<ul>
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||||
<li><strong>新闻热度</strong>：全国首台国产商业电子束光刻机"羲之"的消息被多家媒体报道，包括财联社、杭州日报等主流媒体。</li>
|
||||
<li><strong>市场反应</strong>：消息公布后的第二天（2025年8月15日），光刻机概念股震荡拉升，<span class="highlight">东材科技、凯美特气、冠石科技等多股涨停</span>。</li>
|
||||
<li><strong>概念扩散</strong>：市场将多家公司纳入"羲之"电子束光刻机概念，显示概念正在扩散。</li>
|
||||
</ul>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="col-md-6">
|
||||
<h5><i class="bi bi-thermometer-low text-primary me-2"></i>谨慎因素</h5>
|
||||
<ul>
|
||||
<li><strong>公司澄清</strong>：冠石科技发布公告澄清，公司只涉及光掩膜版制造业务，不涉及电子束光刻机设备的制造业务，且相关业务收入占比<span class="highlight">不足2%</span>。</li>
|
||||
<li><strong>研报覆盖不足</strong>：从研报数据来看，专门针对"羲之"电子束光刻机的研究报告较少，显示专业研究机构对该概念的关注度可能不如市场预期。</li>
|
||||
</ul>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
|
||||
<h4 class="section-title mt-4">预期差分析</h4>
|
||||
<div class="alert alert-info">
|
||||
<i class="bi bi-info-circle me-2"></i>
|
||||
<strong>技术成熟度预期差</strong>：新闻中强调"羲之"的精度"比肩国际主流设备"，但路演中专家提到华为光刻机"已搭建demo机，当前重点攻克算法部分"，表明设备可能仍处于早期阶段。
|
||||
</div>
|
||||
<div class="alert alert-warning">
|
||||
<i class="bi bi-exclamation-triangle me-2"></i>
|
||||
<strong>商业化进程预期差</strong>：新闻中提到"羲之"已"正式投入市场"，但从关联个股的信息来看，多数相关公司的业务与"羲之"的直接关联有限，表明"羲之"的商业化进程可能仍处于早期阶段。
|
||||
</div>
|
||||
<div class="alert alert-danger">
|
||||
<i class="bi bi-x-circle me-2"></i>
|
||||
<strong>产业链覆盖预期差</strong>：市场将多家公司纳入"羲之"概念，但从关联原因来看，多数公司只是提供相关零部件或材料，而非直接参与"羲之"的研发和生产。
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
|
||||
<!-- 关键催化剂与未来发展路径 -->
|
||||
<div class="card">
|
||||
<div class="card-header">
|
||||
<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-rocket-takeoff me-2"></i>关键催化剂与未来发展路径</h3>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="card-body">
|
||||
<h4 class="section-title">近期催化剂</h4>
|
||||
<div class="row">
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||||
<div class="col-md-6 mb-3">
|
||||
<div class="card border-primary">
|
||||
<div class="card-body">
|
||||
<h5 class="card-title"><i class="bi bi-clipboard-data me-2"></i>"羲之"测试结果公布</h5>
|
||||
<p class="card-text">目前"羲之"已进入应用测试阶段，未来3-6个月内可能会有测试结果的详细公布，包括性能参数、与国外同类产品的对比数据等。</p>
|
||||
<!-- Expectation Gap -->
|
||||
<div class="glass-card p-6 md:p-8 item-span-6">
|
||||
<h3 class="fui-title text-2xl font-bold mb-4 text-red-400">预期差分析：宏大叙事与商业静默的鸿沟</h3>
|
||||
<div class="space-y-4">
|
||||
<div class="alert bg-red-900/30 border-red-500/50">
|
||||
<svg xmlns="http://www.w3.org/2000/svg" class="stroke-current shrink-0 h-6 w-6 text-red-400" fill="none" viewBox="0 0 24 24"><path stroke-linecap="round" stroke-linejoin="round" stroke-width="2" d="M12 9v2m0 4h.01m-6.938 4h13.856c1.54 0 2.502-1.667 1.732-3L13.732 4c-.77-1.333-2.694-1.333-3.464 0L3.34 16c-.77 1.333.192 3 1.732 3z" /></svg>
|
||||
<div>
|
||||
<h4 class="font-bold">“热”新闻与“冷”路演的巨大反差</h4>
|
||||
<div class="text-xs">
|
||||
最关键的预期差。尽管新闻和二级市场反响热烈，但在所有提供的路演材料中，<strong class="text-amber-300">没有任何一家上市公司直接提及正在为“羲之”项目供货或与其合作</strong>。这种“企业级静默”表明项目可能仍处于非商业化、小规模的科研合作阶段。
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="col-md-6 mb-3">
|
||||
<div class="card border-success">
|
||||
<div class="card-body">
|
||||
<h5 class="card-title"><i class="bi bi-bag-check me-2"></i>首批商业化订单落地</h5>
|
||||
<p class="card-text">新闻中提到"羲之"已"正式投入市场"，未来3-6个月内可能会有首批商业化订单的消息，特别是来自量子芯片、光子芯片等前沿领域的订单。</p>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
|
||||
<h4 class="section-title mt-4">长期发展路径</h4>
|
||||
<div class="table-responsive">
|
||||
<table class="table table-striped">
|
||||
<thead>
|
||||
<tr>
|
||||
<th>阶段</th>
|
||||
<th>时间</th>
|
||||
<th>里程碑</th>
|
||||
<th>发展重点</th>
|
||||
<th>关键指标</th>
|
||||
</tr>
|
||||
</thead>
|
||||
<tbody>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><span class="badge bg-primary">技术完善</span></td>
|
||||
<td>2025-2026年</td>
|
||||
<td>完成"羲之"的全面测试和优化</td>
|
||||
<td>提升设备的精度和效率，拓展应用领域</td>
|
||||
<td>设备的技术参数、稳定性指标、客户反馈</td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><span class="badge bg-success">商业化推广</span></td>
|
||||
<td>2026-2028年</td>
|
||||
<td>实现"羲之"的规模化生产和销售</td>
|
||||
<td>降低生产成本，提高生产效率，建立完善的销售和服务网络</td>
|
||||
<td>销售量、市场份额、客户数量、应用领域覆盖</td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><span class="badge bg-warning">技术迭代</span></td>
|
||||
<td>2028-2030年</td>
|
||||
<td>推出新一代电子束光刻机</td>
|
||||
<td>研发新一代电子束光刻技术，拓展在更先进制程中的应用</td>
|
||||
<td>新一代产品的技术参数、与国际先进水平的对比、专利数量</td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><span class="badge bg-info">产业生态构建</span></td>
|
||||
<td>2030年以后</td>
|
||||
<td>形成以"羲之"为核心的电子束光刻产业生态</td>
|
||||
<td>构建产业联盟，推动标准制定，培养专业人才，拓展国际合作</td>
|
||||
<td>产业规模、产业链完整性、国际影响力</td>
|
||||
</tr>
|
||||
</tbody>
|
||||
</table>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
|
||||
<!-- 产业链与核心公司深度剖析 -->
|
||||
<div class="card">
|
||||
<div class="card-header">
|
||||
<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-diagram-2-fill me-2"></i>产业链与核心公司深度剖析</h3>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="card-body">
|
||||
<h4 class="section-title">产业链图谱</h4>
|
||||
<div class="row">
|
||||
<div class="col-md-3 mb-3">
|
||||
<div class="card border-primary">
|
||||
<div class="card-header bg-primary text-white">
|
||||
上游：核心零部件和材料
|
||||
</div>
|
||||
<div class="card-body">
|
||||
<ul class="mb-0">
|
||||
<li>高压电源：博众精工</li>
|
||||
<li>电子束控制系统：东方中科</li>
|
||||
<li>光刻胶：思泰克、华懋科技</li>
|
||||
<li>光学器件：波长光电</li>
|
||||
</ul>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="col-md-3 mb-3">
|
||||
<div class="card border-success">
|
||||
<div class="card-header bg-success text-white">
|
||||
中游：设备制造商
|
||||
</div>
|
||||
<div class="card-body">
|
||||
<ul class="mb-0">
|
||||
<li>设备制造商：浙大余杭量子研究院</li>
|
||||
<li>掩膜版制造商：冠石科技、龙图光罩、路维光电</li>
|
||||
</ul>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="col-md-3 mb-3">
|
||||
<div class="card border-warning">
|
||||
<div class="card-header bg-warning text-dark">
|
||||
下游：应用领域
|
||||
</div>
|
||||
<div class="card-body">
|
||||
<ul class="mb-0">
|
||||
<li>量子芯片研发</li>
|
||||
<li>半导体制造</li>
|
||||
<li>光子芯片</li>
|
||||
<li>科研机构</li>
|
||||
</ul>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="col-md-3 mb-3">
|
||||
<div class="card border-danger">
|
||||
<div class="card-header bg-danger text-white">
|
||||
竞品
|
||||
</div>
|
||||
<div class="card-body">
|
||||
<ul class="mb-0">
|
||||
<li>芯碁微装：直写光刻机</li>
|
||||
<li>苏大维格：激光直写光刻机和纳米压印光刻机</li>
|
||||
</ul>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
|
||||
<h4 class="section-title mt-4">核心玩家对比</h4>
|
||||
<div class="table-responsive">
|
||||
<table class="table table-striped">
|
||||
<thead>
|
||||
<tr>
|
||||
<th>公司</th>
|
||||
<th>竞争优势</th>
|
||||
<th>业务进展</th>
|
||||
<th>潜在风险</th>
|
||||
<th>逻辑纯粹度</th>
|
||||
</tr>
|
||||
</thead>
|
||||
<tbody>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><strong>波长光电</strong></td>
|
||||
<td>与浙江大学共建"联合实验室"聚焦高端光学器件研发，在研项目包括电子束光刻(EBL)等核心工艺</td>
|
||||
<td>2025年5月22日与浙江大学签署合作协议</td>
|
||||
<td>技术研发存在不确定性，商业化进程可能较长</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-success">高</span></td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><strong>东方中科</strong></td>
|
||||
<td>提供电子束偏转器控制，电子束偏转器是电子束光刻机的关键部件</td>
|
||||
<td>公司官网显示其电力电子方案包括电子束偏转器控制</td>
|
||||
<td>电子束偏转器控制只是电子束光刻机的一个部件</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-warning">中</span></td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><strong>华懋科技</strong></td>
|
||||
<td>重要参股公司徐州博康已为数十家企业和高校提供电子束光刻胶产品</td>
|
||||
<td>参股公司已有电子束光刻胶产品供应</td>
|
||||
<td>光刻胶只是电子束光刻的一个材料环节，且是参股公司业务</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-warning">中</span></td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><strong>冠石科技</strong></td>
|
||||
<td>已形成一整套光掩膜版生产制造全流程的解决方案，涉及电子束光刻曝写</td>
|
||||
<td>公司公告显示涉及电子束光刻曝写</td>
|
||||
<td>公司已明确澄清不涉及电子束光刻机设备制造，相关业务占比极小</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-danger">低</span></td>
|
||||
</tr>
|
||||
</tbody>
|
||||
</table>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
|
||||
<!-- 潜在风险与挑战 -->
|
||||
<div class="card">
|
||||
<div class="card-header">
|
||||
<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-exclamation-triangle me-2"></i>潜在风险与挑战</h3>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="card-body">
|
||||
<div class="row">
|
||||
<div class="col-md-6">
|
||||
<h4 class="section-title">技术风险</h4>
|
||||
<div class="risk-item">
|
||||
<h5><i class="bi bi-code-slash me-2"></i>算法瓶颈</h5>
|
||||
<p>路演中专家提到华为光刻机"当前重点攻克算法部分"，表明电子束光刻机在算法方面仍存在技术瓶颈，特别是在对准、校准等关键算法方面。</p>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="risk-item">
|
||||
<h5><i class="bi bi-puzzle me-2"></i>系统集成挑战</h5>
|
||||
<p>电子束光刻机是复杂的光机电一体化系统，涉及多个领域。即使各个部件达到要求，系统集成仍面临巨大挑战。</p>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="risk-item">
|
||||
<h5><i class="bi bi-arrow-left-right me-2"></i>与国际先进水平的差距</h5>
|
||||
<p>虽然新闻中提到"羲之"的精度"比肩国际主流设备"，但从路演信息来看，国内光刻机整体与国际先进水平仍有较大差距。</p>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="col-md-6">
|
||||
<h4 class="section-title">商业化风险</h4>
|
||||
<div class="risk-item">
|
||||
<h5><i class="bi bi-window me-2"></i>应用场景有限</h5>
|
||||
<p>电子束光刻虽然精度高，但生产效率低，主要用于研发和小批量生产。相比光学光刻，其市场空间有限。</p>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="risk-item">
|
||||
<h5><i class="bi bi-currency-dollar me-2"></i>成本挑战</h5>
|
||||
<p>高端光刻设备的研发和生产成本高昂，"羲之"作为国内首台国产商业电子束光刻机，可能面临成本控制的挑战。</p>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="risk-item">
|
||||
<h5><i class="bi bi-people me-2"></i>市场接受度</h5>
|
||||
<p>作为国产设备，"羲之"面临市场接受度的挑战。客户可能对国产设备的性能、稳定性、服务等方面存在疑虑。</p>
|
||||
</div>
|
||||
<p class="text-slate-300"><strong>“主角”缺位：</strong>研发主体是<strong class="highlight-text">浙大余杭量子研究院</strong>，一个非上市的科研机构，资本市场无法直接投资于核心标的。</p>
|
||||
<p class="text-slate-300"><strong>应用场景误读：</strong>市场可能认为这是又一台“芯片光刻机”，但其核心价值在于<strong class="highlight-text">光掩模制造、量子芯片和光刻胶研发</strong>，市场空间和商业模式与主流光刻机完全不同。</p>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
|
||||
<h4 class="section-title mt-4">信息交叉验证风险</h4>
|
||||
<div class="alert alert-danger">
|
||||
<i class="bi bi-x-circle me-2"></i>
|
||||
<strong>技术水平描述矛盾</strong>：新闻中强调"羲之"的精度"比肩国际主流设备"，但路演中专家提到华为光刻机"已搭建demo机，当前重点攻克算法部分"，这两种描述存在一定的矛盾。
|
||||
</div>
|
||||
<div class="alert alert-warning">
|
||||
<i class="bi bi-exclamation-triangle me-2"></i>
|
||||
<strong>商业化进程差距</strong>：新闻中提到"羲之"已"正式投入市场"，但从关联个股的信息来看，多数相关公司的业务与"羲之"的直接关联有限，表明"羲之"的商业化进程仍处于早期阶段。
|
||||
</div>
|
||||
<div class="alert alert-info">
|
||||
<i class="bi bi-info-circle me-2"></i>
|
||||
<strong>公司业务关联过度解读</strong>：市场将多家公司纳入"羲之"概念，但如冠石科技等公司已发布公告澄清不涉及电子束光刻机设备的制造业务，且相关业务收入占比不足2%。
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
|
||||
<!-- 综合结论与投资启示 -->
|
||||
<div class="card">
|
||||
<div class="card-header">
|
||||
<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-bar-chart-line me-2"></i>综合结论与投资启示</h3>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="card-body">
|
||||
<h4 class="section-title">综合结论</h4>
|
||||
<p>电子束光刻机"羲之"概念目前仍处于主题炒作阶段，尚未进入基本面驱动阶段。虽然"羲之"代表了中国在高端光刻设备领域的重要技术突破，具有战略意义，但其技术成熟度、商业化进程和产业链带动作用仍存在较大不确定性。市场对该概念的反应可能过度乐观，存在一定的泡沫风险。</p>
|
||||
|
||||
<h4 class="section-title mt-4">投资启示</h4>
|
||||
<div class="row">
|
||||
<div class="col-md-6">
|
||||
<h5><i class="bi bi-bullseye text-success me-2"></i>最具投资价值的细分环节</h5>
|
||||
<div class="opportunity-item">
|
||||
<h6>核心零部件和材料</h6>
|
||||
<p>电子束光刻机的核心零部件和材料供应商，如高压电源、电子束控制系统、光刻胶等，这些领域技术门槛高，国产替代空间大。相关公司如博众精工、东方中科、华懋科技等。</p>
|
||||
<!-- Catalysts & Risks -->
|
||||
<div class="glass-card p-6 md:p-8 item-span-6">
|
||||
<div x-data="{ tab: 'catalysts' }">
|
||||
<div class="tabs tabs-boxed bg-slate-800/50 mb-4">
|
||||
<a class="tab" :class="{ 'tab-active': tab === 'catalysts' }" @click="tab = 'catalysts'">关键催化剂与路径</a>
|
||||
<a class="tab" :class="{ 'tab-active': tab === 'risks' }" @click="tab = 'risks'">潜在风险与挑战</a>
|
||||
</div>
|
||||
<div class="opportunity-item">
|
||||
<h6>光学器件</h6>
|
||||
<p>电子束光刻机的核心部件之一是光学系统，高端光学器件的研发和生产具有较高的技术门槛和附加值。波长光电与浙江大学共建"联合实验室"聚焦高端光学器件研发，值得关注。</p>
|
||||
|
||||
<div x-show="tab === 'catalysts'">
|
||||
<h4 class="font-semibold text-lg mb-2 text-fuchsia-300">近期催化剂 (3-6个月内)</h4>
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<ul class="list-disc list-inside space-y-1 text-slate-300 text-sm">
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<li>应用测试结果公布：验证性能和商业化潜力的第一块试金石。</li>
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<li>首张商业订单落地：概念从主题走向现实的关键一步。</li>
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<li>研发主体公司化运作：提升商业化确定性。</li>
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</ul>
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<h4 class="font-semibold text-lg mt-4 mb-2 text-fuchsia-300">长期发展路径</h4>
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<ul class="list-disc list-inside space-y-1 text-slate-300 text-sm">
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||||
<li><strong>1-2年:</strong> 成为国内科研院所、光刻胶企业的标准研发设备。</li>
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<li><strong>2-4年:</strong> 在量子芯片、硅光子等领域切入小批量生产。</li>
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<li><strong>4年以上:</strong> 技术迭代与平台化，开发系列化产品。</li>
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</ul>
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</div>
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<div class="opportunity-item">
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<h6>应用领域</h6>
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<p>电子束光刻在量子芯片、光子芯片等前沿领域有独特优势，这些领域本身具有较高的成长性和投资价值。</p>
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<div x-show="tab === 'risks'" style="display: none;">
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<ul class="list-disc list-inside space-y-3 text-slate-300">
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<li><strong class="text-red-400">技术风险:</strong> 成熟度与稳定性（尤其在大规模量产中）仍需验证；电子束光刻技术天然存在吞吐量低的瓶颈。</li>
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<li><strong class="text-red-400">商业化风险:</strong> 科研院所主导，从“样品”到“产品”转化路径漫长；目标市场虽战略意义重大，但短期规模有限。</li>
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<li><strong class="text-red-400">竞争风险:</strong> 国际技术代差依然存在，如日本、英国已能实现5nm以下处理能力。</li>
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||||
<li><strong class="text-red-400">信息交叉验证风险:</strong> <strong class="text-amber-300">新闻高调宣传与上市公司路演集体沉默</strong>形成鲜明对比，是当前投资该概念最大的风险源。</li>
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</ul>
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</div>
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</div>
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<div class="col-md-6">
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<h5><i class="bi bi-search text-primary me-2"></i>需要重点跟踪和验证的关键指标</h5>
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<ul>
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<li><strong>"羲之"的技术参数</strong>：关注"羲之"的分辨率、套刻精度、稳定性等关键技术参数，以及与国际同类产品的对比数据。</li>
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<li><strong>商业化订单</strong>：关注"羲之"的商业化订单情况，特别是订单规模、客户质量和应用领域。</li>
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||||
<li><strong>相关公司的业绩贡献</strong>：关注相关公司业绩中"羲之"相关业务的贡献，如收入占比、利润率等。</li>
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||||
<li><strong>技术迭代进展</strong>：关注"羲之"的技术迭代进展，特别是在算法、系统集成等关键领域的突破。</li>
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<li><strong>政策支持力度</strong>：关注国家对电子束光刻等高端光刻设备的政策支持力度。</li>
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</ul>
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</div>
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||||
</section>
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<!-- Bento Grid End -->
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<!-- Industry Chain -->
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<section class="glass-card p-6 md:p-8">
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<h3 class="fui-title text-2xl font-bold mb-6 text-sky-300">产业链图谱与核心公司剖析</h3>
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||||
<div class="grid grid-cols-1 md:grid-cols-3 gap-6">
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<!-- Upstream -->
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<div class="p-4 border border-slate-700 rounded-2xl">
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<h4 class="font-bold text-lg text-center mb-3 text-fuchsia-300">上游：核心零部件 & 材料</h4>
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<div class="space-y-2 text-sm">
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||||
<p><strong>电子光学系统:</strong> <span class="highlight-text">旭光电子</span> (大功率电子管, 研报确认), <span class="highlight-text">东方中科</span> (电子束偏转器控制, 官网显示)</p>
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||||
<p><strong>精密机械与真空系统:</strong> <span class="highlight-text">北方华创</span> (真空系统和精密机械, 研报确认), <span class="highlight-text">博众精工</span> (高稳定度直流高压电源)</p>
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||||
<p><strong>光学元器件:</strong> <span class="highlight-text">福晶科技</span> (光学部件, 研报确认), <span class="highlight-text">波长光电</span> (与浙大共建实验室)</p>
|
||||
<p><strong>核心材料 (潜在用户):</strong> <span class="highlight-text">华懋科技</span> (参股徐州博康), <span class="highlight-text">思泰克</span> (参股华睿芯材)</p>
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</div>
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</div>
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<!-- Midstream -->
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<div class="p-4 border border-slate-700 rounded-2xl">
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<h4 class="font-bold text-lg text-center mb-3 text-fuchsia-300">中游：设备集成</h4>
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<div class="text-center mt-8">
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<p class="text-lg font-semibold highlight-text">浙江大学余杭量子研究院相关团队</p>
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<span class="badge badge-warning badge-outline mt-2">非上市公司</span>
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</div>
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</div>
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||||
<!-- Downstream -->
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<div class="p-4 border border-slate-700 rounded-2xl">
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<h4 class="font-bold text-lg text-center mb-3 text-fuchsia-300">下游：应用领域</h4>
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||||
<div class="space-y-2 text-sm">
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<p><strong>光掩模制造:</strong> <span class="highlight-text">冠石科技, 龙图光罩, 路维光电</span></p>
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||||
<p><strong>量子芯片/新材料研发:</strong> 各大科研院所、高校、相关高科技公司</p>
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<p><strong>光刻胶研发验证:</strong> <span class="highlight-text">彤程新材, 晶瑞电材, 上海新阳, 南大光电</span> (研报确认)</p>
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</div>
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</div>
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</div>
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</div>
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</div>
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||||
<div class="mt-6 p-4 bg-slate-800/30 rounded-2xl">
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<h4 class="font-bold text-lg mb-2 text-amber-300">投资启示与结论</h4>
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||||
<p class="text-sm leading-relaxed text-slate-300">
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||||
“羲之”概念本质是一次成功的<strong class="highlight-text">“技术突破型主题投资”</strong>，战略价值远大于短期商业价值，目前明确处于主题炒作阶段，基本面驱动力尚未形成。最具价值的方向并非追逐短期热点，而是布局那些具备核心技术壁垒、且需求不仅限于“羲之”一个项目的<strong class="highlight-text">平台型上游零部件供应商</strong>。
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||||
<br>基于现有信息，最值得关注的是被研报确认的核心供应商：<strong class="text-sky-300">福晶科技、北方华创、旭光电子</strong>。投资这些标的，更是投资整个中国高端设备国产化浪潮。
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</p>
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</div>
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</section>
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<!-- 股票数据表格 -->
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<div class="card">
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<div class="card-header">
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<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-table me-2"></i>关联股票数据</h3>
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</div>
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<div class="card-body">
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<div class="table-responsive">
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<table class="table table-striped stock-table">
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<thead>
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<!-- Stock Data -->
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<section class="glass-card p-6 md:p-8">
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<h3 class="fui-title text-2xl font-bold mb-6 text-sky-300">产业链相关公司列表</h3>
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<div class="overflow-x-auto">
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<table class="table table-zebra-zebra w-full text-sm">
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<thead class="text-base text-slate-300">
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||||
<tr>
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||||
<th>股票名称</th>
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<th>分类</th>
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||||
<th>相关性</th>
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<th>信息来源</th>
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<th>关联原因</th>
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<th class="bg-transparent">股票名称</th>
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||||
<th class="bg-transparent">股票代码</th>
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||||
<th class="bg-transparent">关联原因</th>
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||||
<th class="bg-transparent">标签</th>
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||||
</tr>
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||||
</thead>
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<tbody>
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||||
<tr>
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||||
<td><strong>博众精工</strong></td>
|
||||
<td><span class="badge bg-primary">产业链上游</span></td>
|
||||
<td>高稳定度直流高压电源作为重大科学仪器设备的核心模块，如透射电子显微镜、电子束光刻机等，填补了国内空白</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||||
<td>高稳定度直流高压电源作为重大科学仪器设备的核心模块，如透射电子显微镜、电子束光刻机等，填补了国内空白</td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><strong>东方中科</strong></td>
|
||||
<td><span class="badge bg-primary">产业链上游</span></td>
|
||||
<td>公司官网显示其电力电子方案包括电子束偏转器控制，电子束偏转器是电子扫描显微镜、电子束光刻机的关键部件</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-info">官网</span></td>
|
||||
<td>公司官网显示其电力电子方案包括电子束偏转器控制，电子束偏转器是电子扫描显微镜、电子束光刻机的关键部件</td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><strong>思泰克</strong></td>
|
||||
<td><span class="badge bg-primary">产业链上游</span></td>
|
||||
<td>拟参股3.75%华睿芯材拥有电子束光刻胶和高速3D打印光刻胶等系列产品</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||||
<td>拟参股3.75%华睿芯材拥有电子束光刻胶和高速3D打印光刻胶等系列产品</td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><strong>华懋科技</strong></td>
|
||||
<td><span class="badge bg-primary">产业链上游</span></td>
|
||||
<td>重要参股公司徐州博康已为数十家企业和高校提供标准化、定制化的电子束光刻胶产品</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||||
<td>重要参股公司徐州博康已为数十家企业和高校提供标准化、定制化的电子束光刻胶产品</td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><strong>冠石科技</strong></td>
|
||||
<td><span class="badge bg-warning">技术</span></td>
|
||||
<td>已形成一整套光掩膜版生产制造全流程的解决方案，涉及线路图档整合与转档、激光或电子束光刻曝写</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||||
<td>已形成一整套光掩膜版生产制造全流程的解决方案，涉及线路图档整合与转档、激光或电子束光刻曝写</td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><strong>龙图光罩</strong></td>
|
||||
<td><span class="badge bg-warning">技术</span></td>
|
||||
<td>海募投项目中电子束光刻机、检验设备、修补设备本身具备40nm的制程能力</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||||
<td>海募投项目中电子束光刻机、检验设备、修补设备本身具备40nm的制程能力</td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><strong>波长光电</strong></td>
|
||||
<td><span class="badge bg-warning">技术</span></td>
|
||||
<td>2025年5月22日，公司与浙江大学签署协议，共建"联合实验室"聚焦于高端光学器件研发。公司公告在研项目包括掌握电子束光刻（EBL）等核心工艺</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-info">公开资料/公告</span></td>
|
||||
<td>2025年5月22日，公司与浙江大学签署协议，共建"联合实验室"聚焦于高端光学器件研发。公司公告在研项目包括掌握电子束光刻（EBL）等核心工艺</td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><strong>路维光电</strong></td>
|
||||
<td><span class="badge bg-warning">技术</span></td>
|
||||
<td>针对更先进制程半导体掩膜版在电子束光刻、干法制程等技术方面开展了相应研究</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||||
<td>针对更先进制程半导体掩膜版在电子束光刻、干法制程等技术方面开展了相应研究</td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><strong>芯碁微装</strong></td>
|
||||
<td><span class="badge bg-danger">竞品</span></td>
|
||||
<td>公司半导体功率器件设备MLF系列直写光刻机采用先进的数字光刻技术</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||||
<td>公司半导体功率器件设备MLF系列直写光刻机采用先进的数字光刻技术</td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><strong>苏大维格</strong></td>
|
||||
<td><span class="badge bg-danger">竞品</span></td>
|
||||
<td>公司自研微纳光学关键制造设备——激光直写光刻机和纳米压印光刻机</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||||
<td>公司自研微纳光学关键制造设备——激光直写光刻机和纳米压印光刻机</td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr>
|
||||
<td><strong>英诺激光</strong></td>
|
||||
<td><span class="badge bg-secondary">其他</span></td>
|
||||
<td>公司与浙江大学共建联合研发中心的目的是发挥双方优势，推动人才培养、科技创新和成果转化，促进激光产业的发展</td>
|
||||
<td><span class="badge bg-info">互动</span></td>
|
||||
<td>公司与浙江大学共建联合研发中心的目的是发挥双方优势，推动人才培养、科技创新和成果转化，促进激光产业的发展</td>
|
||||
</tr>
|
||||
<tr><td>博众精工</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=688097" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">688097</a></td><td>高稳定度直流高压电源作为重大科学仪器设备的核心模块，如电子束光刻机等，填补了国内空白</td><td><span class="badge badge-info badge-outline">产业链 上游</span></td></tr>
|
||||
<tr><td>东方中科</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=002819" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">002819</a></td><td>公司官网显示其电力电子方案包括电子束偏转器控制，是电子束光刻机的关键部件</td><td><span class="badge badge-info badge-outline">产业链 上游</span></td></tr>
|
||||
<tr><td>思泰克</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=301568" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">301568</a></td><td>拟参股3.75%华睿芯材拥有电子束光刻胶和高速3D打印光刻胶等系列产品</td><td><span class="badge badge-info badge-outline">产业链 上游</span></td></tr>
|
||||
<tr><td>华懋科技</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=603306" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">603306</a></td><td>重要参股公司徐州博康已为数十家企业和高校提供标准化的电子束光刻胶产品</td><td><span class="badge badge-info badge-outline">产业链 上游</span></td></tr>
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||||
<tr><td>冠石科技</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=605588" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">605588</a></td><td>已形成光掩膜版生产全流程解决方案，涉及激光或电子束光刻曝写</td><td><span class="badge badge-info badge-outline">产业链 上游</span></td></tr>
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||||
<tr><td>龙图光罩</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=688721" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">688721</a></td><td>募投项目中电子束光刻机、检验设备、修补设备本身具备40nm的制程能力</td><td><span class="badge badge-info badge-outline">产业链 上游</span></td></tr>
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||||
<tr><td>波长光电</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=301421" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">301421</a></td><td>与浙江大学共建“联合实验室”，在研项目包括掌握电子束光刻（EBL）等核心工艺</td><td><span class="badge badge-accent badge-outline">技术</span></td></tr>
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||||
<tr><td>路维光电</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=688401" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">688401</a></td><td>针对更先进制程半导体掩膜版在电子束光刻、干法制程等技术方面开展了相应研究</td><td><span class="badge badge-accent badge-outline">技术</span></td></tr>
|
||||
<tr><td>芯碁微装</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=688630" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">688630</a></td><td>公司半导体功率器件设备MLF系列直写光刻机采用先进的数字光刻技术</td><td><span class="badge badge-warning badge-outline">竞品</span></td></tr>
|
||||
<tr><td>苏大维格</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=300331" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">300331</a></td><td>公司自研微纳光学关键制造设备——激光直写光刻机和纳米压印光刻机</td><td><span class="badge badge-warning badge-outline">竞品</span></td></tr>
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||||
<tr><td>英诺激光</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=301021" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">301021</a></td><td>与浙江大学共建联合研发中心，推动科技创新和成果转化，促进激光产业的发展</td><td><span class="badge badge-neutral badge-outline">其他</span></td></tr>
|
||||
</tbody>
|
||||
</table>
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||||
</div>
|
||||
</div>
|
||||
</div>
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||||
</section>
|
||||
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||||
<section class="glass-card p-6 md:p-8">
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||||
<h3 class="fui-title text-2xl font-bold mb-6 text-sky-300">光刻机概念相关涨幅分析补充</h3>
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||||
<div class="overflow-x-auto">
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||||
<table class="table table-compact w-full text-xs">
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<thead class="text-sm text-slate-300">
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||||
<tr>
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||||
<th class="bg-transparent">日期</th>
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||||
<th class="bg-transparent">股票</th>
|
||||
<th class="bg-transparent">代码</th>
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||||
<th class="bg-transparent">涨幅</th>
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||||
<th class="bg-transparent">原因摘要</th>
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</tr>
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||||
</thead>
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<tbody>
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<tr><td>2025-10-10</td><td>新莱应材</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=300260" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">300260</a></td><td><span class="text-red-400 font-semibold">20.0%</span></td><td>“新凯莱即将发布新品+官方纪要确认7nm/3nm阀门已导入上海微电子光刻机”两大催化被资金集中兑现。</td></tr>
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||||
<tr><td>2025-09-17</td><td>汇成真空</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=301392" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">301392</a></td><td><span class="text-red-400 font-semibold">11.5%</span></td><td>国产DUV光刻机突破，公司作为唯一精密光学镀膜设备供应商，且核心客户需求上修，券商强力助推。</td></tr>
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||||
<tr><td>2025-08-28</td><td>张江高科</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=600895" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">600895</a></td><td><span class="text-red-400 font-semibold">10.01%</span></td><td>上海微电子上市路径官方口风叠加国产光刻机政策订单共振，公司作为最纯SMEE影子股涨停。</td></tr>
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||||
<tr><td>2025-10-13</td><td>旭光电子</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=600353" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">600353</a></td><td><span class="text-red-400 font-semibold">10.02%</span></td><td>CO₂激光等离子体激发用大功率电子管已通过头部客户验证并批量供货，占国产光刻机光源价值量约8%。</td></tr>
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||||
<tr><td>2025-09-17</td><td>永新光学</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=603297" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">603297</a></td><td><span class="text-red-400 font-semibold">10.0%</span></td><td>被证实为国产首台DUV光刻机照明模组唯一国产镜片供应商，带来0.9-1.1亿元新增年收入预期。</td></tr>
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||||
<tr><td>2025-08-08</td><td>洪田股份</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=603800" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">603800</a></td><td><span class="text-red-400 font-semibold">10.0%</span></td><td>“28nm光刻机真空系统批量订单+半导体光学并购”双重催化，机构资金抢筹封板。</td></tr>
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||||
<tr><td>2025-08-06</td><td>海立股份</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=600619" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">600619</a></td><td><span class="text-red-400 font-semibold">10.01%</span></td><td>上海光刻机产业链财政直补政策，叠加公司拿下上海微电子28nm光刻机温控子系统独家订单。</td></tr>
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||||
<tr><td>2025-08-15</td><td>新亚强</td><td><a href="https://valuefrontier.cn/company?scode=603155" target="_blank" class="link link-hover text-sky-400">603155</a></td><td><span class="text-red-400 font-semibold">6.66%</span></td><td>国产电子束光刻机“羲之”消息提振板块情绪，公司产品可作为光刻胶生产配套材料。</td></tr>
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||||
</tbody>
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||||
</table>
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</div>
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</section>
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</main>
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<!-- Footer -->
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<footer class="text-center mt-12 py-4">
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<p class="text-xs text-slate-500">北京价值前沿科技有限公司 AI投研agent：“价小前投研” 进行投研呈现 | 本报告为AI合成数据，不构成任何投资建议，投资需谨慎。</p>
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</footer>
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</div>
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<footer class="bg-dark text-white py-4 mt-5">
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<div class="container">
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<div class="row">
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<div class="col-md-6">
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||||
<p class="mb-0">© 2025 电子束光刻机"羲之"概念分析</p>
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</div>
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||||
<div class="col-md-6 text-md-end">
|
||||
<p class="mb-0">数据来源：公开资料整理</p>
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</div>
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</div>
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</div>
|
||||
</footer>
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||||
<script src="https://cdn.jsdelivr.net/npm/bootstrap@5.3.0/dist/js/bootstrap.bundle.min.js"></script>
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||||
</body>
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</html>
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</html>
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