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<title>电子束光刻机"羲之"概念分析</title>
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|
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<!-- 顶部标题区域 -->
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<div class="hero-section">
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<div class="container">
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<div class="row align-items-center">
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||
<div class="col-md-8">
|
||
<h1 class="display-5 fw-bold">电子束光刻机"羲之"</h1>
|
||
<p class="lead">中国自主研发的首台国产商业电子束光刻设备</p>
|
||
<p class="mb-0">量子芯片研发的"中国刻刀"</p>
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</div>
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<div class="col-md-4 text-md-end mt-3 mt-md-0">
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||
<div class="d-flex align-items-center justify-content-md-end">
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||
<i class="bi bi-cpu display-4 me-3"></i>
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||
<div>
|
||
<div class="h5 mb-0">概念日期</div>
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<div class="h4 mb-0">2025-08-14</div>
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</div>
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</div>
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</div>
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</div>
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</div>
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</div>
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<div class="container">
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||
<!-- 概念事件时间轴 -->
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<div class="card">
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<div class="card-header">
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||
<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-clock-history me-2"></i>概念事件时间轴</h3>
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</div>
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<div class="card-body">
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||
<div class="timeline">
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<div class="timeline-item">
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<div class="timeline-date">2023年3月19日</div>
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||
<div>路演中专家提到华为（推测可能指"羲之"）光刻机进展，已搭建demo机，重点攻克算法部分，特别是对准、校准等技术。</div>
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</div>
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<div class="timeline-item">
|
||
<div class="timeline-date">2025年5月22日</div>
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||
<div>波长光电与浙江大学签署协议，共建"联合实验室"聚焦高端光学器件研发，公司公告在研项目包括电子束光刻(EBL)等核心工艺。</div>
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||
</div>
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||
<div class="timeline-item">
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||
<div class="timeline-date">2025年8月14日</div>
|
||
<div>全国首台国产商业电子束光刻机"羲之"在杭州进入应用测试阶段。该设备由浙大余杭量子研究院自主研发，是新一代100kV电子束光刻机，精度比肩国际主流设备，被称为量子芯片研发的"中国刻刀"。</div>
|
||
</div>
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||
<div class="timeline-item">
|
||
<div class="timeline-date">2025年8月15日</div>
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||
<div>光刻机概念股震荡拉升，东材科技、凯美特气、冠石科技等多股涨停。市场将"羲之"电子束光刻机视为热点概念。</div>
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||
</div>
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||
<div class="timeline-item">
|
||
<div class="timeline-date">2025年8月15日</div>
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||
<div>冠石科技发布公告澄清，公司只涉及光掩膜版制造业务，不涉及电子束光刻机设备的制造业务，且相关业务收入占比不足2%。</div>
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</div>
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</div>
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</div>
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</div>
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||
<!-- 核心观点摘要 -->
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<div class="card">
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<div class="card-header">
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<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-lightbulb me-2"></i>核心观点摘要</h3>
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</div>
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<div class="card-body">
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<p>电子束光刻机"羲之"代表了中国在高端光刻设备领域的重要技术突破，目前正处于从研发测试向商业化应用过渡的关键阶段。其核心驱动力是国产替代和技术自主可控的战略需求，未来在量子芯片、光子芯片等前沿领域具有广阔的应用前景，但商业化进程和技术成熟度仍需进一步验证，当前市场反应存在一定程度的过度炒作。</p>
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<div class="row mt-3">
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<div class="col-md-4">
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||
<div class="text-center p-3 bg-light rounded">
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||
<i class="bi bi-gear-fill text-primary fs-1"></i>
|
||
<h5 class="mt-2">技术突破</h5>
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||
<p>精度比肩国际主流设备</p>
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</div>
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</div>
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<div class="col-md-4">
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||
<div class="text-center p-3 bg-light rounded">
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||
<i class="bi bi-shield-fill-check text-success fs-1"></i>
|
||
<h5 class="mt-2">国产替代</h5>
|
||
<p>解决"卡脖子"关键环节</p>
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</div>
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</div>
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||
<div class="col-md-4">
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||
<div class="text-center p-3 bg-light rounded">
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||
<i class="bi bi-graph-up-arrow text-warning fs-1"></i>
|
||
<h5 class="mt-2">市场前景</h5>
|
||
<p>量子芯片等领域应用广阔</p>
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</div>
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</div>
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</div>
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</div>
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</div>
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||
<!-- 概念的核心逻辑与市场认知分析 -->
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<div class="card">
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<div class="card-header">
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<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-diagram-3 me-2"></i>概念的核心逻辑与市场认知分析</h3>
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||
</div>
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||
<div class="card-body">
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||
<h4 class="section-title">核心驱动力</h4>
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<div class="row">
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<div class="col-md-4 mb-3">
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||
<div class="card h-100">
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||
<div class="card-body">
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||
<h5 class="card-title"><i class="bi bi-cpu text-primary me-2"></i>技术突破</h5>
|
||
<p class="card-text">电子束光刻机"羲之"的问世标志着中国在高端光刻设备领域取得了重要突破。根据新闻，"羲之"是新一代100kV电子束光刻机，其精度<span class="highlight">比肩国际主流设备</span>，被称为量子芯片研发的"中国刻刀"。</p>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
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<div class="col-md-4 mb-3">
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||
<div class="card h-100">
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<div class="card-body">
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||
<h5 class="card-title"><i class="bi bi-shield-check text-success me-2"></i>国产替代需求</h5>
|
||
<p class="card-text">在全球半导体产业链重构和技术封锁的背景下，国产光刻设备的突破具有重要的战略意义。路演中多次提到光刻机是半导体制造的核心设备，也是<span class="highlight">"卡脖子"的关键环节</span>。</p>
|
||
</div>
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||
</div>
|
||
</div>
|
||
<div class="col-md-4 mb-3">
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||
<div class="card h-100">
|
||
<div class="card-body">
|
||
<h5 class="card-title"><i class="bi bi-lightbulb text-warning me-2"></i>前沿应用需求</h5>
|
||
<p class="card-text">电子束光刻技术特别适用于量子芯片、光子芯片等前沿领域的研发和生产。随着这些新兴领域的发展，对高精度光刻设备的需求将持续增长。</p>
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</div>
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</div>
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||
</div>
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</div>
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<h4 class="section-title mt-4">市场热度与情绪</h4>
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<div class="row">
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<div class="col-md-6">
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||
<h5><i class="bi bi-thermometer-high text-danger me-2"></i>乐观因素</h5>
|
||
<ul>
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||
<li><strong>新闻热度</strong>：全国首台国产商业电子束光刻机"羲之"的消息被多家媒体报道，包括财联社、杭州日报等主流媒体。</li>
|
||
<li><strong>市场反应</strong>：消息公布后的第二天（2025年8月15日），光刻机概念股震荡拉升，<span class="highlight">东材科技、凯美特气、冠石科技等多股涨停</span>。</li>
|
||
<li><strong>概念扩散</strong>：市场将多家公司纳入"羲之"电子束光刻机概念，显示概念正在扩散。</li>
|
||
</ul>
|
||
</div>
|
||
<div class="col-md-6">
|
||
<h5><i class="bi bi-thermometer-low text-primary me-2"></i>谨慎因素</h5>
|
||
<ul>
|
||
<li><strong>公司澄清</strong>：冠石科技发布公告澄清，公司只涉及光掩膜版制造业务，不涉及电子束光刻机设备的制造业务，且相关业务收入占比<span class="highlight">不足2%</span>。</li>
|
||
<li><strong>研报覆盖不足</strong>：从研报数据来看，专门针对"羲之"电子束光刻机的研究报告较少，显示专业研究机构对该概念的关注度可能不如市场预期。</li>
|
||
</ul>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
|
||
<h4 class="section-title mt-4">预期差分析</h4>
|
||
<div class="alert alert-info">
|
||
<i class="bi bi-info-circle me-2"></i>
|
||
<strong>技术成熟度预期差</strong>：新闻中强调"羲之"的精度"比肩国际主流设备"，但路演中专家提到华为光刻机"已搭建demo机，当前重点攻克算法部分"，表明设备可能仍处于早期阶段。
|
||
</div>
|
||
<div class="alert alert-warning">
|
||
<i class="bi bi-exclamation-triangle me-2"></i>
|
||
<strong>商业化进程预期差</strong>：新闻中提到"羲之"已"正式投入市场"，但从关联个股的信息来看，多数相关公司的业务与"羲之"的直接关联有限，表明"羲之"的商业化进程可能仍处于早期阶段。
|
||
</div>
|
||
<div class="alert alert-danger">
|
||
<i class="bi bi-x-circle me-2"></i>
|
||
<strong>产业链覆盖预期差</strong>：市场将多家公司纳入"羲之"概念，但从关联原因来看，多数公司只是提供相关零部件或材料，而非直接参与"羲之"的研发和生产。
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
|
||
<!-- 关键催化剂与未来发展路径 -->
|
||
<div class="card">
|
||
<div class="card-header">
|
||
<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-rocket-takeoff me-2"></i>关键催化剂与未来发展路径</h3>
|
||
</div>
|
||
<div class="card-body">
|
||
<h4 class="section-title">近期催化剂</h4>
|
||
<div class="row">
|
||
<div class="col-md-6 mb-3">
|
||
<div class="card border-primary">
|
||
<div class="card-body">
|
||
<h5 class="card-title"><i class="bi bi-clipboard-data me-2"></i>"羲之"测试结果公布</h5>
|
||
<p class="card-text">目前"羲之"已进入应用测试阶段，未来3-6个月内可能会有测试结果的详细公布，包括性能参数、与国外同类产品的对比数据等。</p>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
<div class="col-md-6 mb-3">
|
||
<div class="card border-success">
|
||
<div class="card-body">
|
||
<h5 class="card-title"><i class="bi bi-bag-check me-2"></i>首批商业化订单落地</h5>
|
||
<p class="card-text">新闻中提到"羲之"已"正式投入市场"，未来3-6个月内可能会有首批商业化订单的消息，特别是来自量子芯片、光子芯片等前沿领域的订单。</p>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
|
||
<h4 class="section-title mt-4">长期发展路径</h4>
|
||
<div class="table-responsive">
|
||
<table class="table table-striped">
|
||
<thead>
|
||
<tr>
|
||
<th>阶段</th>
|
||
<th>时间</th>
|
||
<th>里程碑</th>
|
||
<th>发展重点</th>
|
||
<th>关键指标</th>
|
||
</tr>
|
||
</thead>
|
||
<tbody>
|
||
<tr>
|
||
<td><span class="badge bg-primary">技术完善</span></td>
|
||
<td>2025-2026年</td>
|
||
<td>完成"羲之"的全面测试和优化</td>
|
||
<td>提升设备的精度和效率，拓展应用领域</td>
|
||
<td>设备的技术参数、稳定性指标、客户反馈</td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><span class="badge bg-success">商业化推广</span></td>
|
||
<td>2026-2028年</td>
|
||
<td>实现"羲之"的规模化生产和销售</td>
|
||
<td>降低生产成本，提高生产效率，建立完善的销售和服务网络</td>
|
||
<td>销售量、市场份额、客户数量、应用领域覆盖</td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><span class="badge bg-warning">技术迭代</span></td>
|
||
<td>2028-2030年</td>
|
||
<td>推出新一代电子束光刻机</td>
|
||
<td>研发新一代电子束光刻技术，拓展在更先进制程中的应用</td>
|
||
<td>新一代产品的技术参数、与国际先进水平的对比、专利数量</td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><span class="badge bg-info">产业生态构建</span></td>
|
||
<td>2030年以后</td>
|
||
<td>形成以"羲之"为核心的电子束光刻产业生态</td>
|
||
<td>构建产业联盟，推动标准制定，培养专业人才，拓展国际合作</td>
|
||
<td>产业规模、产业链完整性、国际影响力</td>
|
||
</tr>
|
||
</tbody>
|
||
</table>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
|
||
<!-- 产业链与核心公司深度剖析 -->
|
||
<div class="card">
|
||
<div class="card-header">
|
||
<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-diagram-2-fill me-2"></i>产业链与核心公司深度剖析</h3>
|
||
</div>
|
||
<div class="card-body">
|
||
<h4 class="section-title">产业链图谱</h4>
|
||
<div class="row">
|
||
<div class="col-md-3 mb-3">
|
||
<div class="card border-primary">
|
||
<div class="card-header bg-primary text-white">
|
||
上游：核心零部件和材料
|
||
</div>
|
||
<div class="card-body">
|
||
<ul class="mb-0">
|
||
<li>高压电源：博众精工</li>
|
||
<li>电子束控制系统：东方中科</li>
|
||
<li>光刻胶：思泰克、华懋科技</li>
|
||
<li>光学器件：波长光电</li>
|
||
</ul>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
<div class="col-md-3 mb-3">
|
||
<div class="card border-success">
|
||
<div class="card-header bg-success text-white">
|
||
中游：设备制造商
|
||
</div>
|
||
<div class="card-body">
|
||
<ul class="mb-0">
|
||
<li>设备制造商：浙大余杭量子研究院</li>
|
||
<li>掩膜版制造商：冠石科技、龙图光罩、路维光电</li>
|
||
</ul>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
<div class="col-md-3 mb-3">
|
||
<div class="card border-warning">
|
||
<div class="card-header bg-warning text-dark">
|
||
下游：应用领域
|
||
</div>
|
||
<div class="card-body">
|
||
<ul class="mb-0">
|
||
<li>量子芯片研发</li>
|
||
<li>半导体制造</li>
|
||
<li>光子芯片</li>
|
||
<li>科研机构</li>
|
||
</ul>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
<div class="col-md-3 mb-3">
|
||
<div class="card border-danger">
|
||
<div class="card-header bg-danger text-white">
|
||
竞品
|
||
</div>
|
||
<div class="card-body">
|
||
<ul class="mb-0">
|
||
<li>芯碁微装：直写光刻机</li>
|
||
<li>苏大维格：激光直写光刻机和纳米压印光刻机</li>
|
||
</ul>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
|
||
<h4 class="section-title mt-4">核心玩家对比</h4>
|
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<div class="table-responsive">
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<table class="table table-striped">
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<thead>
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<tr>
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<th>公司</th>
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<th>竞争优势</th>
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<th>业务进展</th>
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<th>潜在风险</th>
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||
<th>逻辑纯粹度</th>
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</tr>
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||
</thead>
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<tbody>
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||
<tr>
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||
<td><strong>波长光电</strong></td>
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||
<td>与浙江大学共建"联合实验室"聚焦高端光学器件研发，在研项目包括电子束光刻(EBL)等核心工艺</td>
|
||
<td>2025年5月22日与浙江大学签署合作协议</td>
|
||
<td>技术研发存在不确定性，商业化进程可能较长</td>
|
||
<td><span class="badge bg-success">高</span></td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><strong>东方中科</strong></td>
|
||
<td>提供电子束偏转器控制，电子束偏转器是电子束光刻机的关键部件</td>
|
||
<td>公司官网显示其电力电子方案包括电子束偏转器控制</td>
|
||
<td>电子束偏转器控制只是电子束光刻机的一个部件</td>
|
||
<td><span class="badge bg-warning">中</span></td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><strong>华懋科技</strong></td>
|
||
<td>重要参股公司徐州博康已为数十家企业和高校提供电子束光刻胶产品</td>
|
||
<td>参股公司已有电子束光刻胶产品供应</td>
|
||
<td>光刻胶只是电子束光刻的一个材料环节，且是参股公司业务</td>
|
||
<td><span class="badge bg-warning">中</span></td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><strong>冠石科技</strong></td>
|
||
<td>已形成一整套光掩膜版生产制造全流程的解决方案，涉及电子束光刻曝写</td>
|
||
<td>公司公告显示涉及电子束光刻曝写</td>
|
||
<td>公司已明确澄清不涉及电子束光刻机设备制造，相关业务占比极小</td>
|
||
<td><span class="badge bg-danger">低</span></td>
|
||
</tr>
|
||
</tbody>
|
||
</table>
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</div>
|
||
</div>
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||
</div>
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||
<!-- 潜在风险与挑战 -->
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<div class="card">
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<div class="card-header">
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<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-exclamation-triangle me-2"></i>潜在风险与挑战</h3>
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</div>
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||
<div class="card-body">
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||
<div class="row">
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<div class="col-md-6">
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<h4 class="section-title">技术风险</h4>
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<div class="risk-item">
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<h5><i class="bi bi-code-slash me-2"></i>算法瓶颈</h5>
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||
<p>路演中专家提到华为光刻机"当前重点攻克算法部分"，表明电子束光刻机在算法方面仍存在技术瓶颈，特别是在对准、校准等关键算法方面。</p>
|
||
</div>
|
||
<div class="risk-item">
|
||
<h5><i class="bi bi-puzzle me-2"></i>系统集成挑战</h5>
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||
<p>电子束光刻机是复杂的光机电一体化系统，涉及多个领域。即使各个部件达到要求，系统集成仍面临巨大挑战。</p>
|
||
</div>
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||
<div class="risk-item">
|
||
<h5><i class="bi bi-arrow-left-right me-2"></i>与国际先进水平的差距</h5>
|
||
<p>虽然新闻中提到"羲之"的精度"比肩国际主流设备"，但从路演信息来看，国内光刻机整体与国际先进水平仍有较大差距。</p>
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</div>
|
||
</div>
|
||
<div class="col-md-6">
|
||
<h4 class="section-title">商业化风险</h4>
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<div class="risk-item">
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||
<h5><i class="bi bi-window me-2"></i>应用场景有限</h5>
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<p>电子束光刻虽然精度高，但生产效率低，主要用于研发和小批量生产。相比光学光刻，其市场空间有限。</p>
|
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</div>
|
||
<div class="risk-item">
|
||
<h5><i class="bi bi-currency-dollar me-2"></i>成本挑战</h5>
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||
<p>高端光刻设备的研发和生产成本高昂，"羲之"作为国内首台国产商业电子束光刻机，可能面临成本控制的挑战。</p>
|
||
</div>
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||
<div class="risk-item">
|
||
<h5><i class="bi bi-people me-2"></i>市场接受度</h5>
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||
<p>作为国产设备，"羲之"面临市场接受度的挑战。客户可能对国产设备的性能、稳定性、服务等方面存在疑虑。</p>
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</div>
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</div>
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</div>
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<h4 class="section-title mt-4">信息交叉验证风险</h4>
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<div class="alert alert-danger">
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<i class="bi bi-x-circle me-2"></i>
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||
<strong>技术水平描述矛盾</strong>：新闻中强调"羲之"的精度"比肩国际主流设备"，但路演中专家提到华为光刻机"已搭建demo机，当前重点攻克算法部分"，这两种描述存在一定的矛盾。
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</div>
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<div class="alert alert-warning">
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<i class="bi bi-exclamation-triangle me-2"></i>
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<strong>商业化进程差距</strong>：新闻中提到"羲之"已"正式投入市场"，但从关联个股的信息来看，多数相关公司的业务与"羲之"的直接关联有限，表明"羲之"的商业化进程仍处于早期阶段。
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</div>
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<div class="alert alert-info">
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<i class="bi bi-info-circle me-2"></i>
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<strong>公司业务关联过度解读</strong>：市场将多家公司纳入"羲之"概念，但如冠石科技等公司已发布公告澄清不涉及电子束光刻机设备的制造业务，且相关业务收入占比不足2%。
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</div>
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</div>
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</div>
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||
<!-- 综合结论与投资启示 -->
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<div class="card">
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<div class="card-header">
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<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-bar-chart-line me-2"></i>综合结论与投资启示</h3>
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</div>
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||
<div class="card-body">
|
||
<h4 class="section-title">综合结论</h4>
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<p>电子束光刻机"羲之"概念目前仍处于主题炒作阶段，尚未进入基本面驱动阶段。虽然"羲之"代表了中国在高端光刻设备领域的重要技术突破，具有战略意义，但其技术成熟度、商业化进程和产业链带动作用仍存在较大不确定性。市场对该概念的反应可能过度乐观，存在一定的泡沫风险。</p>
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||
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||
<h4 class="section-title mt-4">投资启示</h4>
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||
<div class="row">
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||
<div class="col-md-6">
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||
<h5><i class="bi bi-bullseye text-success me-2"></i>最具投资价值的细分环节</h5>
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<div class="opportunity-item">
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||
<h6>核心零部件和材料</h6>
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||
<p>电子束光刻机的核心零部件和材料供应商，如高压电源、电子束控制系统、光刻胶等，这些领域技术门槛高，国产替代空间大。相关公司如博众精工、东方中科、华懋科技等。</p>
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</div>
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||
<div class="opportunity-item">
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||
<h6>光学器件</h6>
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||
<p>电子束光刻机的核心部件之一是光学系统，高端光学器件的研发和生产具有较高的技术门槛和附加值。波长光电与浙江大学共建"联合实验室"聚焦高端光学器件研发，值得关注。</p>
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</div>
|
||
<div class="opportunity-item">
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||
<h6>应用领域</h6>
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||
<p>电子束光刻在量子芯片、光子芯片等前沿领域有独特优势，这些领域本身具有较高的成长性和投资价值。</p>
|
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</div>
|
||
</div>
|
||
<div class="col-md-6">
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||
<h5><i class="bi bi-search text-primary me-2"></i>需要重点跟踪和验证的关键指标</h5>
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||
<ul>
|
||
<li><strong>"羲之"的技术参数</strong>：关注"羲之"的分辨率、套刻精度、稳定性等关键技术参数，以及与国际同类产品的对比数据。</li>
|
||
<li><strong>商业化订单</strong>：关注"羲之"的商业化订单情况，特别是订单规模、客户质量和应用领域。</li>
|
||
<li><strong>相关公司的业绩贡献</strong>：关注相关公司业绩中"羲之"相关业务的贡献，如收入占比、利润率等。</li>
|
||
<li><strong>技术迭代进展</strong>：关注"羲之"的技术迭代进展，特别是在算法、系统集成等关键领域的突破。</li>
|
||
<li><strong>政策支持力度</strong>：关注国家对电子束光刻等高端光刻设备的政策支持力度。</li>
|
||
</ul>
|
||
</div>
|
||
</div>
|
||
</div>
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||
</div>
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||
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||
<!-- 股票数据表格 -->
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<div class="card">
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||
<div class="card-header">
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<h3 class="mb-0"><i class="bi bi-table me-2"></i>关联股票数据</h3>
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||
</div>
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||
<div class="card-body">
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||
<div class="table-responsive">
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||
<table class="table table-striped stock-table">
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||
<thead>
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<tr>
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<th>股票名称</th>
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||
<th>分类</th>
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||
<th>相关性</th>
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||
<th>信息来源</th>
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||
<th>关联原因</th>
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</tr>
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||
</thead>
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<tbody>
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||
<tr>
|
||
<td><strong>博众精工</strong></td>
|
||
<td><span class="badge bg-primary">产业链上游</span></td>
|
||
<td>高稳定度直流高压电源作为重大科学仪器设备的核心模块，如透射电子显微镜、电子束光刻机等，填补了国内空白</td>
|
||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||
<td>高稳定度直流高压电源作为重大科学仪器设备的核心模块，如透射电子显微镜、电子束光刻机等，填补了国内空白</td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><strong>东方中科</strong></td>
|
||
<td><span class="badge bg-primary">产业链上游</span></td>
|
||
<td>公司官网显示其电力电子方案包括电子束偏转器控制，电子束偏转器是电子扫描显微镜、电子束光刻机的关键部件</td>
|
||
<td><span class="badge bg-info">官网</span></td>
|
||
<td>公司官网显示其电力电子方案包括电子束偏转器控制，电子束偏转器是电子扫描显微镜、电子束光刻机的关键部件</td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><strong>思泰克</strong></td>
|
||
<td><span class="badge bg-primary">产业链上游</span></td>
|
||
<td>拟参股3.75%华睿芯材拥有电子束光刻胶和高速3D打印光刻胶等系列产品</td>
|
||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||
<td>拟参股3.75%华睿芯材拥有电子束光刻胶和高速3D打印光刻胶等系列产品</td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><strong>华懋科技</strong></td>
|
||
<td><span class="badge bg-primary">产业链上游</span></td>
|
||
<td>重要参股公司徐州博康已为数十家企业和高校提供标准化、定制化的电子束光刻胶产品</td>
|
||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||
<td>重要参股公司徐州博康已为数十家企业和高校提供标准化、定制化的电子束光刻胶产品</td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><strong>冠石科技</strong></td>
|
||
<td><span class="badge bg-warning">技术</span></td>
|
||
<td>已形成一整套光掩膜版生产制造全流程的解决方案，涉及线路图档整合与转档、激光或电子束光刻曝写</td>
|
||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||
<td>已形成一整套光掩膜版生产制造全流程的解决方案，涉及线路图档整合与转档、激光或电子束光刻曝写</td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><strong>龙图光罩</strong></td>
|
||
<td><span class="badge bg-warning">技术</span></td>
|
||
<td>海募投项目中电子束光刻机、检验设备、修补设备本身具备40nm的制程能力</td>
|
||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||
<td>海募投项目中电子束光刻机、检验设备、修补设备本身具备40nm的制程能力</td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><strong>波长光电</strong></td>
|
||
<td><span class="badge bg-warning">技术</span></td>
|
||
<td>2025年5月22日，公司与浙江大学签署协议，共建"联合实验室"聚焦于高端光学器件研发。公司公告在研项目包括掌握电子束光刻（EBL）等核心工艺</td>
|
||
<td><span class="badge bg-info">公开资料/公告</span></td>
|
||
<td>2025年5月22日，公司与浙江大学签署协议，共建"联合实验室"聚焦于高端光学器件研发。公司公告在研项目包括掌握电子束光刻（EBL）等核心工艺</td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><strong>路维光电</strong></td>
|
||
<td><span class="badge bg-warning">技术</span></td>
|
||
<td>针对更先进制程半导体掩膜版在电子束光刻、干法制程等技术方面开展了相应研究</td>
|
||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||
<td>针对更先进制程半导体掩膜版在电子束光刻、干法制程等技术方面开展了相应研究</td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><strong>芯碁微装</strong></td>
|
||
<td><span class="badge bg-danger">竞品</span></td>
|
||
<td>公司半导体功率器件设备MLF系列直写光刻机采用先进的数字光刻技术</td>
|
||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||
<td>公司半导体功率器件设备MLF系列直写光刻机采用先进的数字光刻技术</td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><strong>苏大维格</strong></td>
|
||
<td><span class="badge bg-danger">竞品</span></td>
|
||
<td>公司自研微纳光学关键制造设备——激光直写光刻机和纳米压印光刻机</td>
|
||
<td><span class="badge bg-secondary">公告</span></td>
|
||
<td>公司自研微纳光学关键制造设备——激光直写光刻机和纳米压印光刻机</td>
|
||
</tr>
|
||
<tr>
|
||
<td><strong>英诺激光</strong></td>
|
||
<td><span class="badge bg-secondary">其他</span></td>
|
||
<td>公司与浙江大学共建联合研发中心的目的是发挥双方优势，推动人才培养、科技创新和成果转化，促进激光产业的发展</td>
|
||
<td><span class="badge bg-info">互动</span></td>
|
||
<td>公司与浙江大学共建联合研发中心的目的是发挥双方优势，推动人才培养、科技创新和成果转化，促进激光产业的发展</td>
|
||
</tr>
|
||
</tbody>
|
||
</table>
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||
</div>
|
||
</div>
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||
</div>
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||
</div>
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<footer class="bg-dark text-white py-4 mt-5">
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<div class="container">
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<div class="row">
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<div class="col-md-6">
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<p class="mb-0">© 2025 电子束光刻机"羲之"概念分析</p>
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</div>
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<div class="col-md-6 text-md-end">
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||
<p class="mb-0">数据来源：公开资料整理</p>
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</div>
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</div>
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</div>
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</footer>
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</body>
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||
</html>
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